自洁式空气过滤器的技术参数众多，以下是一些常见的参数及其说明：
过滤精度：指过滤器能够有效拦截的颗粒物最小粒径，通常用微米（μm）表示。在单晶硅行业，一般要求过滤精度达到 0.1 - 1μm，以确保生产环境的高洁净度。
过滤效率：表示过滤器对不同粒径颗粒物的过滤能力，通常用百分比表示。例如，对于 0.5μm 粒径的颗粒物，过滤效率为 99.9%，意味着该过滤器能够拦截 99.9% 的 0.5μm 颗粒物。
处理风量：指过滤器在单位时间内能够处理的空气体积，单位为立方米每小时（m³/h）。单晶硅生产车间需根据生产规模和设备需求，选择处理风量合适的自洁式空气过滤器，一般范围在几千到几万立方米每小时。
工作压力：包括过滤器的进气压力和允许的最大工作压力。进气压力通常在几十到几百帕斯卡之间，而允许的最大工作压力一般在数千帕斯卡以上，以确保过滤器在不同工况下稳定运行。
压力损失：指空气通过过滤器时产生的压力降低值，单位为帕斯卡（Pa）。压力损失越小，说明过滤器的阻力越小，对整个通风系统的能耗影响越小。一般自洁式空气过滤器的初始压力损失在 100 - 300Pa 左右，随着使用时间和过滤阻力的增加，压力损失会逐渐上升。
自洁周期：指过滤器自动进行反吹清灰的时间间隔，通常以分钟或小时为单位。自洁周期可根据实际运行情况进行调整，一般在几分钟到几十分钟之间。
反吹压力：反吹系统用于清除滤筒表面灰尘的压缩空气压力，一般在 0.4 - 0.8MPa 之间。合适的反吹压力能够有效清除灰尘，同时避免对滤筒造成损坏。
滤筒数量：根据过滤器的处理风量和过滤面积要求，会配置不同数量的滤筒。滤筒数量越多，过滤面积越大，处理风量也相应增加。常见的自洁式空气过滤器滤筒数量从几个到几十个不等。
设备尺寸：包括过滤器的长、宽、高，单位为毫米（mm）。设备尺寸需根据安装空间和处理风量等因素确定，以便合理布置在单晶硅生产车间或设备附近。
材质：过滤器的外壳通常采用碳钢、不锈钢等材质，具有良好的耐腐蚀性和强度。滤筒的材质一般为玻璃纤维、聚酯纤维等，这些材质具有高效的过滤性能和良好的透气性。
